蓋世汽車訊 現(xiàn)在，市場對能夠適應(yīng)惡劣環(huán)境的微機電系統(tǒng)（MEMS）的需求正在增長，但硅基MEMS在極端條件下工作困難，在高溫下性能也受限。碳化硅（SiC）是一種很有發(fā)展前景的解決方案，能夠為打造耐用型MEMS提供絕佳的熱、電和機械性能。
加速度計原理圖（圖片來源：phys.org）
來源：第一電動網(wǎng)
作者：蓋世汽車
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