蓋世汽車訊 據(jù)外媒報道，德國弗勞恩霍夫光子微系統(tǒng)研究所（Fraunhofer IPMS）開發(fā)出光子微系統(tǒng)，可以使用可控的小鏡子來調(diào)制光，從而產(chǎn)生獨特的圖像和結(jié)構(gòu)。這些空間光調(diào)制器（SLM）是在半導(dǎo)體芯片上具有多達數(shù)百萬個鏡子的微鏡陣列，可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、顯微鏡和全息攝影等領(lǐng)域。

陶瓷封裝的微鏡陣列；512x320可單獨尋址鏡，像素尺寸為48μm。（圖片來源：弗勞恩霍夫光子微系統(tǒng)研究所）

在實驗室和1500平方米的潔凈室中，該團隊開發(fā)了一系列基于200 mm晶圓技術(shù)的特定用途空間光調(diào)制器。為了讓每個微鏡能夠單獨偏轉(zhuǎn)，研究人員以高度集成的電子電路（ASIC）為基礎(chǔ)來構(gòu)建組件體系結(jié)構(gòu)，再結(jié)合單片集成MEMS（微電子機械系統(tǒng)）技術(shù)，從而可以創(chuàng)建獨特的微鏡陣列。

此外，F(xiàn)raunhofer IPMS還開發(fā)可以驅(qū)動該設(shè)備的電子器件和軟件。為了促進技術(shù)應(yīng)用，該研究所向客戶提供評估工具包。除了微鏡芯片本身，準備試用的設(shè)置還包括完整的電子控制器件（含軟件在內(nèi)）。

該Fraunhofer IPMS空間光調(diào)制器可用于深紫外微光刻、印刷電路板（PCB）制造、半導(dǎo)體檢測和計量、自適應(yīng)光學(xué)、天文學(xué)、全息和顯微鏡技術(shù)。該研究所已獲得ISO 9001認證，從而驗證其質(zhì)量、技術(shù)和性能。

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